中国电科完成全谱系离子注入机国产化

时间: 2024-02-21 05:54:27 |   作者; 雷火竞猜官网首页

  中国网3月17日讯（记者谢露莹）记者17日从中国电科得悉，该集团旗下子集团日前已成功完成离子注入机全谱系产品国产化，可为全球芯片制作公司能够供给离子注入机一站式解决方案。

  离子注入机是芯片制作中的要害配备。中国电科接连打破大流强长寿命高品质离子源、高速晶圆传输等“卡脖子”技能，自主研制中束流、大束流、高能、特种使用及第三代半导体等离子注入机，工艺段掩盖至28nm，累计构成中心发明专利413项，完成我国芯片制作范畴全谱系离子注入机自主立异开展，有用缓解我国芯片制作范畴断链、短链难题。

  下一步，中国电科将瞄准高端，紧跟先进工艺开展，快速推动适用于更先进工艺节点离子注入机的研制及产业化。