北方华创发布应用于晶边刻蚀工艺的 12 英寸等离子体刻蚀机 Accura BE

时间: 2023-12-30 23:19:55 |   作者; 雷火竞猜官网首页

  7月18日讯：近来，北方华创科技集团股份有限公司（以下简称“北方华创”）正式对外发布应用于晶边刻蚀（Bevel Etch）工艺的 12 英寸等离子体刻蚀机 Accura BE，声称完成国产晶边干法刻蚀设备“零”的打破，为我国先进芯片制造量身打造良率进步高效解决计划。

  据介绍，在器材制造的完好过程中，因为薄膜堆积、光刻、刻蚀和化学机械抛光等工艺过程的大幅度增加，在晶圆的边际造成了不可避免的副产物及残留物堆积，这些晶边堆积的副产物及残留物骤增导致的缺点危险成为产品良率的严重威胁，因而，渐渐的变多逻辑及存储芯片等范畴制造商开端侧重重视 12 英寸晶圆的边际 1mm 区域，从晶圆的边际方位着手进步芯片良率。晶边刻蚀机作为业界进步良率的有力保证，其重要性日益凸显。

  Accura BE 作为首台国产 12 英寸晶边刻蚀设备，其技能功能“已达业界干流水平”，IT之家附官方宣扬亮点如下：

  经过挑选调配多种刻蚀气体，完成对 PR（光刻胶），OX（氧化物），SiN（氮化硅），Carbon（碳），Metal（金属）等多类膜层资料的晶边刻蚀工艺全掩盖；

  可定制多种尺度的聚集环规划组合，完成对等离子体刻蚀区域的精准方位操控，从而为客户供给灵敏、全面的良率进步计划；

  具有软件智能算法，可施行可视化的量化调理，简化保护流程，进步设备出产功率。

  北方华创表明，Accura BE 刚发布上市，就已斩获逻辑及存储器范畴头部客户多个订单，经过工艺调试，进入量产阶段。

  原标题：北方华创发布首台国产 12 英寸晶边刻蚀机 Accura BE，可进步芯片良率