射频电源职业专题：等离子体加工设备中心零部件完成设备自主可控的必要条件

时间: 2024-02-16 23:34:19 |   作者; 雷火竞猜官网首页

  射频电源是等离子体加工设备中心零部件。射频电源是发生等离子体的中心零部件，对等离子体加工设备的加工才能和加工作用影响很大。首要影响范畴包括半导体中刻蚀、薄膜堆积、离子注入、清洗去胶等环节和光伏中薄膜堆积环节，射频电源的性能对构成的等离子体质量和安稳才能至关重要，因而关于输出方法、输出功率、输出安稳性等都有极高要求，是半导体零部件中高技术壁垒的零部件之一。

  射频电源价值约为设备本钱12%，2022年射频电源国内商场空间约55亿元。据SEMI核算，2022年全球刻蚀设备商场空间为184亿美元，全球薄膜堆积设备商场空间为220亿美元，射频电源价值量约占等离子体加工设备12%，核算可得对应射频电源商场规模约为26亿美元，考虑离子注入和清洗等环节，全球总空间约为30亿美元。SEMI核算2021年半导体设备国内销售额约占全球28.9%，国内商场空间约为60亿元。

  射频电源首要被美商MKS、AE独占，国产化率简直为零。射频电源因为本身高技术壁垒和研制难度，国内商场长时间被美商独占，首要企业为美国MKSInstrument（万国仪器）和Advanced Energy（先进能源工业），2021年MKSInstrument半导体事务（包括其他产品）的经营收入为18.29亿美元，Advanced Energy半导体事务（首要为射频电源）的经营收入为7.1亿美元。

  中美交易冲突催化射频电源国产代替，英杰电气、恒运昌研制进展抢先。美国BIS于2022年10月7日出台控制新规，控制办法适用于将美国设备或零部件出口到我国国内的特定先进逻辑或存储芯片晶圆厂，国产射频电源代替火烧眉毛。国内设备商和电源企业连续开端研制协作，其间英杰电气和恒运昌的部分产品现已取得了必定的验证进展，有望成为国产射频电源的国家栋梁。

  交易冲突加速设备国产代替，扩容射频电源商场。因为中美交易冲突，23-25年设备国产化率有望快速提高，国产射频电源商场有望敏捷扩展。2022年国内设备国产化率约25%，对应国产射频电源空间约14亿元，咱们估计，2025年设备国产化率有望超越50%，对应国产射频电源空间将超越30亿元，验证进展抢先的射频电源企业有望首先获益。

  相关公司：英杰电气、恒运昌（未上市）、武汉凡谷、神舟半导体（未上市）等。