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首台国产12英寸晶边刻蚀机发布

时间: 2024-01-09 07:30:46 | 作者; 雷火竞猜官网首页

cura BE的12英寸等离子体刻蚀机，该设备使用于晶边刻蚀（Bevel Etch）工艺，完成了国产晶边干法刻蚀设备的打破。这项打破为我国先进

北方华创自2001年建立以来一直致力于研讨刻蚀技能，并于2005年推出第一台8英寸ICP刻蚀机，随后带领国产刻蚀机的交给量逐步添加，打破了1000台。

据北方华创相关担任这个的人说，“Accura BE作为国产首台12英寸晶边刻蚀设备，其技能功能已达到业界干流水平。” Accura BE经过软件体系调度优化和特有传输渠道的结合，能进步客户的产能。它能够再一次进行挑选多种刻蚀气体，完成对光刻胶（PR）、氧化物（OX）、氮化硅（SiN）、碳（Carbon）和金属（Metal）等多种膜层资料的晶边刻蚀工艺全掩盖。一同，它还能够给我们供给定制的聚集环规划组合，完成对等离子体刻蚀区域的精准方位操控，为客户供给灵敏、全面的良率进步方案。此外，Accura BE还具有软件，能够直接进行可视化的量化调理，简化保护流程，进步设备的出产功率。

最新发布的12英寸等离子体刻蚀机Accura BE技能功能已达到业界干流水平。该设备首要有以下亮点：

1. 经过软件体系调度优化和特有传输渠道的结合，能够协助客户完成更高的产能。

2. 可挑选多种刻蚀气体，完成对光刻胶（PR）、氧化物（OX）、氮化硅（SiN）、碳（Carbon）和金属（Metal）等多种膜层资料的晶边刻蚀工艺全掩盖。

3. 可定制多种尺度的聚集环规划组合，完成对等离子体刻蚀区域的精准方位操控，为客户供给灵敏、全面的良率进步方案。

4. 配备软件智能算法，可施行可视化的量化调理，简化保护流程，进步设备的出产功率。

这些亮点使Accura BE在刚刚上市时就赢得了逻辑及存储器范畴头部客户的多个订单，而且现已经过了工艺调试，进入了量产阶段。

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