俄罗斯自研光刻机！ 造价36万人民币！

时间: 2024-01-09 07:31:59 |   作者; 雷火竞猜官网首页

  据俄罗斯国际新闻通讯社报导，圣彼得堡理工大学的研讨人员开发出了一种“国产光刻复合体”，可用于蚀刻出产无掩模芯片，这将使“处理俄罗斯在微电子范畴的技能主权问题”成为可能。

  圣彼得堡理工大学代表泄漏。该设备综合体包含用于无掩模纳米光刻和等离子体化学蚀刻的设备。据介绍，其间一种东西的本钱为 500 万卢布(当时约 36.3 万元人民币)，另一种东西的本钱不知道。

  第一种设备可用于在基底上取得图画，而无需特别掩模。据开发人员称，与传统光刻技能比较，无论是在本钱仍是时刻方面，这项技能都合算得多，由于传统光刻技能需求用专门的掩膜板来获取图画。该设备由专业软件操控，可完成彻底自动化。

  这位代表称，该综合体由圣彼得堡理工大学开发，旨在创立“各种微电子设备正常运转”所需的“纳米结构”。该工艺的第一阶段需求用根底掩模光刻机，第二阶段则要运用到硅等离子化学蚀刻机。

  据悉，第二种设备要运用到第一阶段在基底上创立的图画。俄新社写道，该设备可直接用于构成纳米结构，但也能制造硅膜，例如用于舰载超压传感器。

  该项意图作者向俄新社确保，在这种机器上制造的硅膜“在可靠性和灵敏度方面超过了用液体或激光蚀刻办法制造的硅膜”。他们还着重，这是彻底的(俄罗斯)国产产品。

  实际上，圣彼得堡理工大学并不是仅有一所致力于研讨先进的国产光刻处理方案的组织。早在 2022 年 10 月，俄罗斯科学院下诺夫哥罗德运用物理研讨所就宣告开端朝这个方向打开作业，但其方针略有不同。

  揭露材料显现，到 2023 年 10 月，俄罗斯最多可以正常的运用 65nm 的拓扑结构，而该技能在近 20 年前就现已简直被筛选了，不过俄罗斯现在正在建造 28nm 芯片工厂。

  据称，诺夫哥罗德运用物理研讨所正在尽力缩小俄罗斯与国际其他几个国家之间的巨大距离，而他们的专家正在开发第一款国产光刻机，可以出产 7nm 拓扑芯片。但是，这仍需求数年时刻，至少要到 2028 年才干开端全面运转。