时间: 2024-04-27 00:51:41 | 作者; 雷火竞猜官网首页
等离子清洗机由等离子工作腔、电极架、真空泵与增压泵、射频发生与适配器以及微流量控制器等组成,等离子清洗一般会用气体作为清洗介质,常用的工作气体有:Ar、02、N2等,其中,N2作为活性气体,其粒子相对较大,在电离形成等离子体后,可在某些特定的程度上起到防止金属表面氧化的作用,而且与其他气体相结合,
可达到处理特别的材料的目的,每种气体由于自身的不一样的属性,对污染物和清洗物质均有不一样的反应效果,其中,Ar是对污染物进行物理轰击最有效的气体,是对清洗物体进行表面清洗、粗化等处理的绝佳气体。
此外,在封装工艺中,金丝键合后,金丝以及焊点通过Ar处理,可有很大效果预防线路氧化,起到一定的保护作用。
等离子体作为物质第四态,将其作用于所需清理物质表面,使其发生相应的物理、化学反应,其中最重要的包含:物理反应机理和化学反应机理,对于物理反应机理而言,活性粒子对待清洗物表明上进行“轰击”使污染物与表面分离,最后由真空泵进行吸取处理,
等离子清洗机的优点为:无化学反应,清洁表面无氧化物残留,可使被清洗物保持化学纯净性,腐蚀作用为各向异性,但对清洗物表面损害大,即热效应大。对于化学反应机理而言,多种活性粒子与污染物发生化学反应产生易挥发性物质,然后通过真空泵将其吸出。其优点是清洗速度较高、选择性好、对清除有机污染物比较有效,但可能会在表面产生氧化物。
等离子体是由离子、自由电子、光子、中子、原子、分子等激发了的电子状态组成。每一个组成部分都能对表面产生处理作用。激活的原子、分子、离子和自由电子物质高度集中,能够在等离子体态中和固体表面发生作用,引起了物质表面的化学和物理改性。
等离子清洗机通常包括以下过程:(1)无机气体被激发到等离子态。(2)气相物质与固体表面产生碰撞或吸附作用。(3)被吸附基团与固体表面分子反应生成产物分子,(4)产物分子解析形成气相。(5)反应残余物和气体产物最终被气体带走。
使用氧气等离子清洗容易使带清洗物被氧化,因此用氢等离子体将带清洗物进行还原,为了达到更好的效果,可在氢气中加入一定量的氨气。激发态的氢气与氧化物发生化学反应,将氧化无还原为单质和水蒸气,氨气等离子体在进行物理碰撞,通过以上气体的结合,可以很有效的去处表面氧化物。
等离子清洗技术是一种高效的清理洗涤方法,可以轻松又有效地去除金属表面的氧化物。在引线键合、芯片键合等领域,等离子清洗技术被大范围的应用于键合前去除氧化层和表面活化。
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