国产高能离子注入机成功完成百万电子伏特高能离子加快

  新华社北京6月28日电（记者胡喆）记者28日从中国电子科技集团有限公司得悉，由该集团旗下电科配备自主研发的高能离子注入机成功完成百万电子伏特高能离子加快，功能到达国际先进水平。

  据介绍，离子注入机是芯片制作中的要害配备。在芯片制作的完好过程中，需求掺入不一样的品种的元素按预订方法改动资料的电功能，这些元素以带电离子的方式被加快至预订能量并注入至特定半导体资猜中，离子注入机便是履行这一掺杂工艺的芯片制作设备。

  高能离子注入机是离子注入机中技能难度最大的机型。长久以来，因其极大的研发难度和较高的职业竞赛壁垒，被称为离子注入机范畴的“珠穆朗玛峰”，是我国集成电路制作配备产业链上亟待霸占的要害一环。

  电科配备在离子注入机范畴具有较好的技能沉淀，已接连打破中束流、大束流、特种使用及第三代半导体等离子注入机产品研发及产业化难题，产品广泛服务于全球闻名芯片制作企业。

  电科配备离子注入机总监张丛表明，电科配备将在年末前推出首台高能离子注入机，完成我国芯片制作范畴全系列离子注入机自主立异开展，并为全球芯片制作公司能够供给离子注入机成套解决方案。