【48812】中微公司尹志尧：等离子体刻蚀设备助力128层及以上芯片量产

  【中微公司(688012)尹志尧：等离子体刻蚀设备助力128层及以上芯片量产】 中微公司董事长、总经理尹志尧泄漏，公司研制的12英寸高端刻蚀设备已成功使用于世界闻名客户的生产线纳米及以下器材的要害加工过程。一起，公司继续改善设备并优化工艺，以满意先进集成电路厂商的需求。在3DNAND芯片制作方面，公司的等离子体刻蚀设备已成功使用于128层及以上的量产。此外，公司也在开发深邃宽比刻蚀设备和工艺，以及更先进的刻蚀使用设备，以满意多种客户需求。

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