多功能磁控溅射镀膜机技能计划

  是用磁控溅射的办法，制备金属、合金、化合物、半导体、陶瓷、介质复合膜及其它化学反应膜等；适用于镀制各种单层膜、多层膜、掺杂膜系及合金膜；可镀制磁性资料和非磁性资料。

  秉承设备为工艺完成供给完成手法的理念，咱们做了如下规划和工程完成，实践运转作用杰出，为用户的用工艺完成供给了精/准/的工艺设备计划。

  -靶材和靶面直接做到面触摸是很难的，假如做不到面触摸，触摸电阻将增大，导致离化电场的幅值不行（触摸电阻增大，触摸面的电场分压增大），导致镀膜作用欠好；电阻增大导致靶材发热升温，下降镀膜质量。

  占地面积小，尺度约为：长1100mm×宽780mm（规范办公室门是800mm宽）（传统设备大约为2200mm×1000mm），相同面积的工作场地，能够放两台设备。

  选用铠装加热丝，因为通电加热的金属丝不暴露在真空室内，所以高温加热过程中不开释杂质物质，保/证薄膜的纯洁度。铠装加热丝放入均温器里，保/证温常的均匀，然后再对基片加热。

  真空室表里，悉数电化学抛光，完/全去除外表微观毛刺森林（在显微镜下可见），没有微观藏污纳垢的当地，腔体内外表积削减一倍以上，镀膜更纯洁，真空度更高，抽速更快。

  2、磁控溅射靶数量及类型：1 ～ 6 靶，圆形平面靶、矩形靶3、靶的装置的当地：由下向上、由上向下、斜向、侧向装置

  -基片加热器温度：依照每个用户供给要求配备，温度可用电脑编程操控，可控可调。

  -基片架公转速度 ：2 ～100 转 / 分钟，可控可调；基片自转速度：2 ～20 转 / 分钟。

  -Φ2 ～Φ3 英寸平面圆形靶 2 ～ 3 支，配气动靶控板，靶可摆头调视点。

  鹏城半导体技能（深圳）有限公司（简称：鹏城半导体），由哈尔滨工业大学（深圳）与有多年实践经历的工程师团队一起建议创立。公司立足于技能沿与商场沿的交叉点，寻求创/新与可持续发展，处理工业的痛点和国产化难题，争夺工业链的自主可控。

  公司中心事务是微纳技能与精细制作，详细运用域包含半导体资料、半导体工艺与半导体配备的研制规划和出产制作。

  公司人才团队知识结构完好，有以哈工大教授和博士为中心的高水平资料研讨和工艺研讨团队；还有来自工业界的高配备规划师团队，他们具有20多年的半导体资料研讨、外延技能讨论研讨与半导体薄膜制备成套配备规划、出产制作的经历。

  公司依托于哈尔滨工业大学（深圳），具有的半导体研制设备渠道和检测设备渠道，能够在高起点展开科研工作。公司总部在深圳市，具有半导体配备的研制、出产、调试以及半导体资料与器材的中试、出产、出售的才能。

  直流溅射电源、RF射频溅射电源、高精度热蒸腾电源、高能直流脉冲电源（中频可调脉宽）

  团队部分成绩散布完/全/自主规划制作的分子束外延（MBE）设备，包含自主规划制作的MBE超高真空外延成长室、工艺操控办理体系与软件、高温束源炉、高温样品台、Rheed原位实时在线监控仪（反射高能电子衍射仪）、直线型电子枪、膜厚仪（可计量外延成长的分子层数）、射频源等中心部件。线年在浙江大学光学仪器国家重点实验室投入到正常的运用中，至仍在正常运用。

  规划制作磁控溅射与等离子体增强化学气相堆积法PECVD技能联合体系，运用于团簇式太阳能薄膜电池中试线。运用单位中科院电工所。

  规划制作了金刚石薄膜制备设备，运用于金刚石薄膜资料的研讨与中试出产设备。现运用单位中科院金属研讨所。

  规划制作了全自动磁控溅射设备，可加水平磁场和笔直磁场，自行规划的真空机械手传递基片。运用于高密度磁记录资料与器材的研讨和中试。现运用单位国家光电实验室。

  规划制作了OLED有机半导体发光资料及器材的研讨和中试成套配备。现运用单位香港城市大学资料实验室。

  规划制作了MOCVD及合金退火炉，用于GaN和ZnO的外延成长，完成LED无机半导体发光资料与器材的研讨和中试。现运用单位南昌大学国家硅基LED工程技能研讨中心。

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  姐姐画画弟弟在旁边一向捣乱，把姐姐惹哭 姐姐气的把弟弟“扔出”门外，姐姐气成这样硬是没舍得打弟弟。