太阳能电池片科普系列——(镀膜)PECVD篇

  PECVD( Plasma  Enhanced  Chemical Vapor  Deposition)等离子增强化学气相沉积，等离子体是物质分子热运动加剧，相互间的碰撞会导致气体分子产生电离，物质就会变成自由运动并由相互作用的正离子、电子和中性粒子组成的混合物。

  据测算，光在硅表面的反射损失率高达35%左右，减反膜可以极高地提高电池片对太阳光的利用率，有助于提高光生电流密度，进而提高转换效率，同时薄膜中的氢对于电池片表面的钝化降低了发射结的表面复合速率，减小了暗电流，提升了开路电压，提高了光电转换效率；在烧穿工艺中的高温瞬时退火断裂了一些Si-H、N-H键，游离出来的H逐步加强了对电池的钝化。

  由于光伏级硅材料中不可避免的含有大量的杂质和缺陷，导致硅中少子寿命及扩散长度降低，因此导致电池的转换效率下降，H能与硅中的缺陷或杂质进行反应，从而将禁带中的能带转入价带或者导带。

  PECVD  系统是一组利用平行板镀膜舟和高频等离子激发器的系列发生器。在低压和升温的情况下，等离子发生器直接装在镀膜板中间发生反应。所用的活性气体为硅烷SiH4和氨NH3。这些气体作用于存储在硅片上的氮化硅。能够准确的通过改变硅烷对氨气的比率，来得到不同的折射指数。在沉积工艺中，伴有大量的氢原子和氢离子的产生，使得晶片的氢钝化性十分良好。

  在线摄氏度的环境和温度下，通过对石墨舟的导电，使硅片的表面镀上一层SixNy。

  Si3N4膜的颜色随着它的厚度的变化而变化，一般理想的厚度是7580nm之间，表现为深蓝色，Si3N4膜的折射率在2.02.5之间效果最好，通常用酒精来测其折射率。

  优良的表面钝化效果、高效的光学减反射性能（厚度折射率匹配）、低温工艺（大大降低成本）、生成的H离子对硅片表面钝化.

  膜厚。沉积时间的不同膜厚也是不一样的要根据镀膜的颜色来适当的增加或减少它的沉积时间，片子发白要减少沉积时间，如偏红则要适当的增加。每一舟片子要全面的确认，不允许把不良品流入到下道工序，如色斑、水印镀膜不良，应及时挑出

  产线最常见的表面发白、色差、白点，其中表面发白主要由于氮化硅膜较厚导致，可通过调节膜沉积时间来调整；色差片主要由于气路堵塞、石英管漏气、微波故障等导致；白斑主要由于前道小黑点导致。

  PECVD是太阳能电池片中较为重要的工序，也是体现一个企业太阳能电池片效率的一个重要指标，PECVD工序一般较忙，每一批电池片都需要监测，且镀膜炉管较多，每一管一般几百片（视设备而定），更改工艺参数后，验证周期较长。镀膜技术是整个光伏行业比较重视的技术，太阳能电池的效率提升能够最终靠镀膜技术的提升来实现，太阳能电池领域的科学家们也乐此不疲，未来太阳能电池表面技术或许有可能成为太阳能电池理论效率的突破口。

  连载文章欢迎查看更加多太阳能电池片科普系列：发电原理篇流程（电池片）篇工艺流程(硅片)篇制绒篇扩散篇刻蚀篇(镀膜)PECVD篇丝网印刷篇烧结篇组件封装篇多晶硅铸锭篇

  特别声明：北极星转载其他网站内容，出于传递更加多信息而非盈利之目的，同时并不意味着赞成其观点或证实其描述，内容仅供参考。版权属于原本的作者所有，若有侵权，请联系我们删除。

  日前，在第十届古吉拉特邦全球峰会上，GrewEnergy与古吉拉特邦政府签署了一项4.5737亿美元的协议。据悉，该公司将在古吉拉特邦的托莱拉建设2.8GW的太阳能电池和硅片制造工厂。古吉拉特邦政府将帮助推进必要的审批，加快该工厂的建设过程。该项目预计将为1600多人创造就业机会。这是GrewEnergy公司历史

  新年伊始，龙马精神，英发睿能又传喜讯。2024年1月16日，英发睿能再次收到中国合格评定国家认可委员会（CNAS）针对N型TOPCon双面电池的检测报告。此次报告结果为，英发睿能N型TOPCon双面电池测试效率达到了26.61%，再次刷新历史记录，跻身行业效率第一阶梯。乘风破浪距上一次英发睿能电池效率升级仅

  1月15日，聆达股份发布关于聘任公司副总裁、董事会秘书及证券事务代表的公告，董事会同意聘任杨冬林先生为公司副总裁、董事会秘书、同意聘任赵燚先生为公司证券事务代表，任期自第六届董事会第八次会议审议通过之日起至第六届董事会任期届满之日止。简历杨冬林，中国国籍，出生于1982年1月，党员，

  1月15日，四川省发展和改革委员会关于通威太阳能光伏产业研发技术中心（二期）节能报告的审查意见发布，原文如下：四川省发展和改革委员会关于通威太阳能光伏产业研发技术中心（二期）节能报告的审查意见（川发改环资函〔2024〕13号）通威太阳能（成都）有限公司：你单位《关于报送通威太阳能光伏产业

  北极星储能网获悉，2024年1月12日，海关总署副署长王令浚在国务院新闻发布会上介绍2023年全年进出口情况。他指出，电动载人汽车、锂离子蓄电池和太阳能电池，我们的“新三样”，“新三样”产品合计出口1.06万亿元，首次突破万亿元大关，增长了29.9%。海关总署副署长王令浚介绍称，2023年，我国出口机电

  从清电集团官微获悉，1月12日，安徽合肥西长信新能源科技有限公司13.2GW高效N型TOPcon项目首线量产仪式举行。据悉，项目总投资120亿元，采用全球领先的自动化电池片生产设备，建立集规模化、数字化、智能化于一体的高效光伏电池研发制造基地，全面达产以后，将实现23.1GW产能。一期项目自2023年8月正式

  1月3日，外交部发言人汪文斌主持例行记者会。有记者提问，今年是中国加入《专利合作条约》（PCT）30周年。发言人能否介绍中方在推进专利国际合作和知识产权全球治理方面采取的举措？汪文斌表示，中方格外的重视国际专利合作和知识产权保护。加入《专利合作条约》（PCT）30年来，我们热情参加专利合作条约

  1月5日，中来股份发布重要项目的投资进展公告，其中，16GW高效单晶电池智能工厂项目一期8GW已投产，二期8GW项目主要设备已安装，部分产线万吨高纯多晶硅项目已完成硅料项目公司的新设，硅料项目已取得山西省企业投资项目备案证，目前项目环境影响评估报告与节能评

  北极星太阳能光伏网获悉，1月5日，国家知识产权局公布一项名为“杂化异质结太阳能电池及电池组件和制备方法”的发明专利申请，公开号为CN117352566A，申请人为天合光能股份有限公司，申请日期为2023年12月4日。专利摘要显示，本申请提供了一种杂化异质结太阳能电池及电池组件和制备方法，包括半导体衬

  12月28日，江苏省发展改革委发布关于江苏超晶新能源科技有限公司10GW高效光伏电池项目（一期）节能报告的审查意见。原文如下：省发展改革委关于江苏超晶新能源科技有限公司10GW高效光伏电池项目（一期）节能报告的审查意见苏发改能审〔2023〕267号盐城市发展改革委：《关于上报江苏超晶新能源科技有限

  12月18日，浙江省科学技术厅公布2024年度浙江省“尖兵”“领雁”研发攻关计划项目立项清单公示文件，由正泰新能主导研发的项目“高效新型柔性钙钛矿薄膜光伏电池关键技术”，成功入选“领雁”研发攻关计划。“尖兵”“领雁”研发攻关计划由浙江省级财政资金设立，是面向世界科学技术前沿、面向经济主战场、

  过去几年，新能源行业大红大紫，新兴技术眼花缭乱，从光伏行业的HJT、TOPCon、BC、钙钛矿，到锂电及储能行业的钠电、固态、液流、复合集流体、磷酸锰铁锂，等等。但是，站在这一轮新能源热潮回落的敏感节点，目前线”、获得产业化验证并实现大规模市场渗透的技术迭代非常少，N型TOPCon算

  在光伏产业链中，电池环节是驱动光伏技术进步的核心，也是促进行业持续降本增效的动力。纵观十年来的发展，不论是p型时代的一路赶超，还是n型时代的TOPCon、HJT和XBC百花齐放，光伏电池的技术迭代历程，同样是电池企业的发展史。台企的黄金时代在2015年以前，台湾太阳能电池企业“风光无两”，昱晶、茂

  从福莱蒽特未来技术研究院官微获悉，11月27日，杭州福莱蒽特未来技术研究院有限公司（简称“福莱蒽特研究院”）与中国华能集团清洁能源技术研究院有限公司（简称“华能清能院”）签署合作协议。协议主要围绕福莱蒽特研究院与华能清能院在HJT、钙钛矿等新型光伏技术领域的合作，包括新型封装技术的权威

  在n型迭代浪潮中，TOPCon先行，今年已有密集项目落地，预计明年规模更为庞大，另一方面BC技术因其高效率、平台化等优势，闯入n型战局。作为n型技术的另一条代表路线，异质结怎么样应对两者的夹击，企业又将如何坚定信心，推动异质结产能、效率、降本等方面实现新突破？产能落地缓、市场需求起与密集投产

  10月23日，云南国际中标广西华磊新材料有限公司分布式光伏特许经营项目。项目位于广西平果市，规划建设分布式光伏16.5兆瓦，同步融入分布式光伏直流接入电解铝母排4兆瓦及新能源汽车充电桩。项目投运后，预计每年可为广西华磊公司提供绿电1597万千瓦时，节约标准煤约638吨，减少二氧化碳排放量15922吨

  据彭博新能源财经（BNEF）最新发布的《BangladeshPowerSectorattheCrossroads》报告中指出，由于光伏技术成本的不断降低，太阳能将在2025年成为孟加拉国最便宜的能源；到2030年，带有储能电池的太阳能系统(PVS)的平准化电力成本(LCOE)将比新建火力发电厂更便宜。目前，孟加拉国建设公用事业规模太阳能

  自2022年以来，光伏电池技术进入由p向n迭代大潮，TOPCon、HJT、XBC三大技术均有拥趸者。而近期，n型技术路线之争，正因隆基而变得更激烈。9月5日，隆基绿能举行半年报业绩说明会，董事长钟宝申在会上表示，在接下来的5~6年，BC电池会是晶硅电池的绝对主流，未来隆基绿能很多产品都会走向BC技术路线。

  9月4日，广西壮族自治区工业和信息化厅等六部门关于推动能源电子产业高质量发展的实施建议，文件指出，以南宁、北海、梧州、百色等地市为依托建设高效光伏电池片和组件产品集聚区；以南宁、桂林、柳州、梧州为依托建设新型储能电池产业集聚区；以南宁、桂林为核心区域建设光电器件、能源管理器件、数字能源系

  BC技术，无疑是当下光伏行业非常关注的技术路线。当光伏有突出贡献的公司隆基绿能董事长钟宝申提出，未来5-6年，BC类电池将成为晶硅电池的绝对主流，其大量产品都会走向BC路线。此言论一出，市场开始重新审视起BC技术。BC技术的发展历史最早可追溯至48年前。1975年，Schwartz和Lammert首次提出背接触式光伏电池

  光伏行业突发热闹。近日，隆基宣布BC电池将成为晶硅电池的绝对主流，态度明确，大家对BC电池的关注再掀高潮。这次小高潮，更像是当前光伏产业周期与宏观资本周期跌宕共振的一次宣泄，光伏行业近年来占主导的价值观正在受到挑战，从过去几年的“功利主义”向未来一段时间的“精致主义”转变。我们在2023

  12月30日，上交所官网披露了陕西省水电开发集团股份有限公司(以下简称“陕西水电”或公司)首次公开发行股票招股说明书(申报稿)，公司IPO材料被正式受理。据悉，陕西水电本次拟公开发行股票数量不低于11,111.1112万股且不超过42,857.1428万股，占发行后公司总股本的比例不低于10%且不超过30%。拟于上交

  12月份，规模以上工业（以下简称规上工业）主要能源产品生产继续保持稳定增长。与11月份相比，原煤、天然气、电力增速有所放缓，原油增速加快。一、原煤、原油和天然气生产及相关情况原煤生产稳定增长，进口快速地增长。12月份，规上工业原煤产量4.1亿吨，同比增长1.9%，增速比11月份放缓2.7个百分点，日

  近日，河北昌黎中心城区污水厂分布式光伏发电项目正式并网发电成功。该项目位于河北省秦皇岛昌黎县内，充分的利用厂房屋顶、闲置空地、水池等区域建设而成，总装机容量1.82MW，安装了3100多块580Wp高功率光伏组件，项目采取“自发自用、余电上网”模式，预计每年可产生218万度绿色清洁电能，自用比例达到

  1月16日，2024年第一批可再次生产的能源发电补贴项目清单的报告公布。此次纳入2024年第一批可再次生产的能源发电补贴清单的项目共235个，核准/备案容量723.4兆瓦，其中：集中式发电项目21个、核准/备案容量543.6兆瓦，分布式发电项目214个、核准/备案容量179.8兆瓦。此次变更可再次生产的能源发电补贴清单的项目共17个，

  近日，四川雅安市首个集中式光伏发电项目—石棉竹马10万千瓦林光互补复合光伏电站项目全面完工，实现全容量并网发电。石棉竹马10万千瓦林光互补复合光伏电站项目位于石棉县回隆镇竹马村，是瀑布沟水电站水风光互补项目建设内容之一，项目总投资9.8亿元，场址面积3000亩，采用集中式发电。据了解，该项

  1月15日，华北能源监管局公布2023年12月份12398热线投诉举报办理情况通报。2023年12月，华北能源监管局共收到国家能源局12398能源监管热线件，现将有关情况通报如下：一、当月接收情况2023年12月，共收到投诉举报91件。其中投诉83件，环比减少26.55%，同比减少23.85%，其中：用电

  1月15日，国家能源局湖南能源监管办行业监管处公布湖南“十四五”能源规划重点项目进度监测情况。截至2023年12月，纳入监测机制的能源建设项目计划投资共2406.2亿元。其中“十四五”期间计划投资总额为1923.5亿元，完成1081.2亿元，完成率56.21%。纳入监测机制的电源建设项目共16个，总投资为1221.8亿

  1月16日，西昌电力发布公告称，近日，公司控股子公司盐源丰光新能源有限公司（公司持股90%）收到《凉山州发展和改革委员会关于凉山州木里1#地块等7个光伏项目法人确认及实施方案有关意见的函》。经四川省发展改革委、四川省能源局审核并报备四川省政府，四川省发展改革委、四川省能源局原则上同意凉山

  1月2日，文成县发展和改革局发布关于加强分布式光伏发电项目施工安全管理工作的通知，通知指出，分布式光伏发电项目建筑设计企业要依规定向文成县发展和改革局进行备案。分布式光伏发电项目的设计、施工、安装、调试等参建单位，要具有国家规定的相应资质。各参建单位应在资质许可范围内承揽业务。建设单

  1月10日，河池市生态环境局印发《河池市近零碳排放区试点建设工作方案（试行）》的通知，通知指出，持续开展既有建筑围护结构、照明、电梯、教学中心、食堂、学生集体宿舍楼等综合型用能系统和设施设备节能改造，提升能源利用效率。鼓励教职工使用新能源汽车，提高新能源汽车专用停车位、充电设施比例

  随着《碳排放权交易管理暂行条例（草案）》的通过，业界一致认为，我国碳排放权交易管理法律依据将更为明晰，为未来扩大碳市场规模、提高我国国际碳线日，国务院常务会议审议通过《碳排放权交易管理暂行条例（草案）》（以下简称《条例》）。从2011年多地先行开展碳排放权交易试点，到20