【48812】【中标】1400万元！北方华创中标清华大学1套金属刻蚀机

  集微网音讯，9月13日，清华大学发布金属刻蚀机中标公告。该公告显现，中标人为北京北方华创微电子配备有限公司，标的物为1套金属刻蚀机，中标金额1400万元。

  此前，清华大学发布金属刻蚀机投标公告显现，所收购的金属刻蚀机将应用于微机电体系（MEMS）和先进集成工艺研制过程中的金属材料的干法刻蚀工艺，金属材料包含铝、钛等。

  北方华创官方音讯显现，在刻蚀范畴，2005年8月，北方华创第一台ICP刻蚀机进入大生产线月，北方华创推出第一台金属刻蚀机；2022年8月12日，北方华创发布CCP介质刻蚀机，已在5家客户完结验证并完成量产。至此，北方华创完成刻蚀工艺全掩盖。

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