Plasma等离子清洗机作业原理ppt文档

时间: 2024-03-01 04:58:53 |   作者; 雷火竞猜官网首页

  微結合物,以便于Vacuum Pump將其抽走 Pump的容量和速度須足夠大,以便敏捷排

  癸烷:(SMT清洗液殘留物)主要成分: Pdystyrene(聚苯乙烯)Mylar(聚酯薄膜)等有机物; 金屬外表氧化物; 已經硬化的光敏元素:,如:焊錫等無机物; 空气中的各种有机無机顆粒及基板外表的殘留液体.

  使用比較重的離子,以物理办法打破有機物软弱 的化學鍵並是外表污染物脫離被清洗物外表,清 除有机物得方程式為﹕

  PLASMA對一切的有机物都有明顯得清洗效果,可是 他對硬化焊錫等無机物卻物能為力!

  外表活化大多数都用在聚合體(Polymers),通過Plasma的洗,(在 O2或Ar Plasma中進行短暫的暴光即可),能添加外表的 粘著力.

  電極板外表原子, 雜質分子和離子以及二次 電子(e-)…等, 此e-又會受電場效果往正電極 方向移動, 於移動過程會撞擊chamber內之 氣體分子(ex. : Ar原子…等), 產生Ar等氣態 正離子, 此Ar再受電場的效果去撞擊負電極

  板, 又再產生外表原子以及二次電子(e-)…等, 如此周而復始之效果即為Plasma產生之原理.

  因此,在反映中Ar與必定數量的空氣同時存在; 當Ar的純度缺乏,即空氣的成分稍多時,也不會

  以暴露出更多的外表區域,以树立miniature dipoles(微形 的雙極子),從而添加電性的粘著力.详细請見﹕

  1.现在PLASMA用于W/B之前清洗基板上附著的有 机物(如FLUX的殘留﹑清洗劑的殘留﹑Epoxy outgas等),以利于打線.其原理如下: