国内首家离子注入机自研量产企业在湖南长沙诞生

  人民网长沙7月18日电 “发车！”7月14日上午，在湖南省长沙市天心区，由我国电子科技集团公司第48研究所研制出产的第100台国产离子注入机发往用户，标志着国内首家离子注入机自研量产企业的诞生，也代表着国产离子注入机成功经过产业化检测。

  “离子注入机是芯片制作中至关重要的中心设备之一，开发难度仅次于光刻机。”该所相关担任的人介绍，在芯片制作的完好过程中，需求掺入不一样的品种的元素按预订方法改动资料的电功能，这些元素以带电离子的方式被加快至预订能量并注入特定半导体资猜中，离子注入机便是履行这一掺杂工艺的芯片制作设备。

  据了解，我国电子科技集团公司第48研究所成立于1964年，隶属于我国电子科技集团有限公司，是国内仅有从事以离子注入机、电子束曝光机、分子束外延配备为典型代表的三束（离子束、电子束、分子束）为主的主干科研出产单位，产品有配备和传感器，并具有配备整线集成才能。（刘宾、张星）

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